E.ü.nano Teknoloji Uygulama Ve Araştırma Merkezine Vakumlu Pecvd Kaplama Sistemi Alımı

T.C.

ERCİYES ÜNİVERSİTESİ REKTÖRLÜĞÜ

İdari ve Mali İşler Daire Başkanlığı

Sayı  : 68056880.934.01-  407                                                        

Konu: Yaklaşık Maliyet Tespiti                                                                                                           19/04/2013                                                                                                    

               Üniversitemiz İdari ve Mali İşler Daire Başkanlığınca; Erciyes Üniversitesi Nano Teknoloji Uygulama ve Araştırma Merkezinde (ERNAM) kullanılmak üzere; 4734 Sayılı KİK ‘nin 19.Maddesi gereği Açık İhale Usulü ile satın alınacak olan VAKUMLU PECVD KAPLAMA SİSTEMİ teknik şartnamesi yazımız ekinde sunulmuştur.

            Tarafınızdan temini mümkün olan malzemelere ait yaklaşık maliyete esas teklifinizi 26.04.2013 tarih ve saat 14.00’e kadar birimimize ulaştırmanız konusunda gereğini rica ederim.

                                                                                                                             Şengül KOÇYİĞİT

                                                                                                             Şube Müdürü

EK: Teknik Şartname

NOT:

1-Zamanında verilmeyen açık adres, kaşe ve imza olmayan teklifler değerlendirmeye alınmayacaktır.

2- Teklif zarfları kapalı olmalı, teklif konusu ve irtibattaki satınalma  personelinin ismi zarfın üzerinde yazılı olmalıdır.

3- Teklif edilen ürünlerin markası ve modeli teklif  mektubunda yazılmalıdır.

3- Teklif edilen ürünlerin birim fiyatı rakam ve yazı ile yazılacaktır.

4- Teklifler TL cinsinden  KDV hariç verilecektir.

5- Teklif mektubunda teslim süresi belirtilecektir.

6- Postadaki ve kargodaki gecikmeler dikkate alınmayacaktır.

7- Teklif mektubunda “şartname hükümlerini kabul ediyorum” ibaresi bulunacak olup teknik şartnamede istenen bilgi ve belgeler varsa ilgili birime teslim edilecektir.

ADRES:

Erciyes Üniversitesi Rektörlüğü

İdari ve Mali İşler Daire Başkanlığı

Kayseri

Tel:  0-352-207 66 66-10310 

İrtibat: Nurten ŞAŞTIM (Satınalma Memuru)

VAKUMLU PECVD KAPLAMA SİSTEMİ TEKNİK ŞARTNAMESİ

1. Kuvartz Vakum haznesi 1000 mm boyunda , en az 85 mm çapında kuvartz cam boru olacak ve boru iki ucundan flanjlarla kapatılacaktır. Bu flanjlardan vakumlama, gaz sızdırma ve örnek yükleme

işlemleri yapılacaktır. Flanjlar üzerinde yeterince giriş bulunacaktır.

2. Vakum haznesi boru, ayrık fırın (siplit-furnace) içinden geçecektir. Ayrık fırın 1100°C ye kadar

PID kontrollu olarak , en az 10 adım programlanabilecektir. Ayrık fırın üst kapağı açılarak hızı

soğutma sağlanabilecektir.

3. Vakum en az 10 m3/h lik kuru scroll pompa ile sağlanacak hazne 100°C de iken 1x10-3 Torr taban basınç oluşacaktır. Vakum değeri her an 1000 Torr-10-3 Torr arasında sayısal olarak ölçülecektir. Vakum seviyesi ölçümü haznenin her iki ucundan da yapılabilecektir.

4. Üç kanal sayısal gaz kontrolu ile CH4, Ar ve H2 Mass Flow Kontrol elemanları, gazların her birini

anlık olarak olarak kontrol edecek ve gerekirse karışım hazırlanmasına olanak tanıyacaktır. MFC

elektronik kontrol birimi gazların hepsini gerçek zamanlı ve sayısal olarak gösterecek ve gaz akışı

her bir gaz için 0.1 sccm hassasiyetle ayarlanabilecektir.

 5 Sistem basıncı 10-1000 mTorr arasında manuel olarak ayarlanabilecektir. Bu amaçla, vakum

haznesinin pompalama yapılan tarafında vakum kısma ve kapatma vanası sistemde yer alacaktır.

Vakum kısma ve gaz sızdırma ayarları aynı anda kullanılarak istenilen basınç değerine

ulaşılacaktır.

6. Kuvartz tüp üzerinde, her iki uçta, fonksiyonları gerçekleştirmek için yeteri kadar besleme ve

kontrol giriş –çıkışı yer alacaktır.

7 Vakum haznesinin gaz beslenen tarafına “inductively coupled plasma” (ICP) yaratacak biçimde

eklenen en az 300 Watt RF güç kaynagı ile, hazneye sızdırılan gaz plazma haline getirilerek fırın içinde yer alan sıcak örnek bölgesine aktarılacaktır.

8. Vakum odacığına örnek, sadece bir taraftaki flanj kapağı açılarak-kapatılarak yüklenecek ve

ayrıca sök-tak yapılmayacaktır. Yükleme işlemi 15-20 saniyede tamamlanacaktır.

9. Sistem bir masa üzerine kurulacak ve bütün elektronik birimler masada veya üstünde yer alan

“rack” üzerinde yerleşmiş olacaktır. Masa parlatılmış alüminyum metal den yapılacaktır.

10. Sistem tekerleri ile bir bütün olarak dolaşabilecek ve kapılardan geçecektir.

11. Sistem yarı otomatik olarak çalışacaktır, eğitimi verilecek ve çalışır durumda teslim edilecektir.

12. Sistem bütün olarak, işçilik, tasarım ve malzemeler yönünden, iki yıl süre ile garanti

kapsamında olacaktır.